
Applicazione del carburo di boro nella lucidatura dei wafer
Applicazione del carburo di boro nella lucidatura dei wafer Vantaggi del carburo di boro (B₄C) per la lucidatura dei wafer semiconduttori Grazie all’elevatissima durezza (durezza Mohs: 9,3~9,5), alla forte stabilità chimica, alla resistenza agli acidi e agli alcali, ai bordi dei grani netti e all’elevata efficienza di rimozione del materiale, la polvere di carburo di


